(1) 類型： CCI 干涉(相干相關(guān)干涉)
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點(diǎn)數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點(diǎn)陣 )
更詳細(xì)參數(shù)和有關(guān)應(yīng)用問題請垂詢辦事處產(chǎn)品負(fù)責(zé)人。

 

主要特點(diǎn)

•的相干相關(guān)算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復(fù)性：0.03A

儀器介紹

TalysurfCCI三維非接觸形貌儀采用CCI(技術(shù)的相干相關(guān)算法)干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。

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