IXION 193 SLM系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器，用于光學計量、193nm步進光學校準或高功率ArF的帶寬控制。其小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。該激光器的中心波長可在185至194nm范圍內定制，并可在購買時預先配置為固定波長。作為高精度光譜儀的一種選擇，系統(tǒng)具有0.001 nm光譜精度。這可以限度地控制激光的光譜調諧。

特點：

● TEM00光束

● 二極管泵浦

● Q開關全固態(tài)激光器

● 單頻波長193.368nm

應用：

○ 光譜校準

○ 光刻

○ 干涉度量

○ 193nm計量

○ 半導體檢測

○ 準分子的種子源

可選項：

○ 圖形化用戶界面

○ Labview數據庫

○ 精確的光譜儀

○ 中心波長：185-194nm

○ CDRH規(guī)格快門

產品參數：

所有數據均在重復頻率為6 kHz下測得

波長穩(wěn)定性&光斑輪廓

光譜特性&功率穩(wěn)定性

激光頭尺寸