膜厚測(cè)量?jī)x | |||
通過薄膜表面與基底材料反射光的干涉現(xiàn)象,可快速可靠地測(cè)量半透明及透明膜的厚度。非接觸式測(cè)量,不會(huì)破壞測(cè)試樣品。 NanoCalc測(cè)試系統(tǒng)主要包括:寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、樣品測(cè)試臺(tái)及測(cè)量分析軟件。NanoCalc膜厚測(cè)量?jī)x適合于在線膜厚測(cè)量,包括氧化層、氮化硅薄膜,感光膠片及其它類型的薄膜,NanoCalc也可測(cè)量在鋼、鋁、銅、陶瓷等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗膜涂層。
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膜厚測(cè)量?jī)x
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